Лазерная термометрия твердых тел
БиблиографияЛазерная термометрия твердых тел [Электронный ресурс] / Магунов А.Н. - М. : ФИЗМАТЛИТ, 2001. Режим доступа: http://proto.rosmedlib.ru/book/ISBN5922102222.html
АвторыМагунов А.Н.
ИздательствоФизматлит
Год издания2001
ПрототипЭлектронное издание на основе: Лазерная термометрия твердых тел. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2001. - 224 с. - ISBN 5-9221-0222-2.
АннотацияЛазерная термометрия основана на дистанционном измерении темпера-турно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. Книга адресована специалистам в области термометрии, теплофизики, физики плазмы и газового разряда, плазмохимии, гетерогенного катализа, микроэлектроники, плазменно-пучковых технологий обработки твердого тела.
Загружено 2016-06-28 02:17:19