Основы технологии электронной компонентной базы : практикум
БиблиографияОсновы технологии электронной компонентной базы : практикум [Электронный ресурс] / Астахов В.П. - М. : МИСиС, 2016. Режим доступа: http://proto.rosmedlib.ru/book/ISBN9785876239648.html
АвторыАстахов В.П.
ИздательствоМИСиС
Год издания2016
ПрототипЭлектронное издание на основе: Основы технологии электронной компонентной базы : практикум / В.П. Астахов, С.А. Леготин, К.А. Кузьмина. - М. : Изд. Дом МИСиС, 2016. - 53 с. - ISBN 978-5-87623-964-8.
АннотацияСодержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса "Основы технологии электронной компонентной базы" для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
ГрифРекомендовано редакционно-издательским
советом университета
Загружено 2017-09-22 02:25:54