Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
БиблиографияМикро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения [Электронный ресурс] : учебное пособие / А.М. Светличный, И.Л. Житяев. - Ростов н/Д : ЮФУ, 2018. Режим доступа: http://proto.rosmedlib.ru/book/ISBN9785927530977.html
АвторыСветличный А.М., Житяев И.Л.
ИздательствоЮФУ
Год издания2018
ПрототипЭлектронное издание на основе: Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие / А.М. Светличный, И.Л. Житяев ; Южный федеральный университет. - Ростов-на-Дону ; Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. - 96 с. - ISBN 978-5-9275-3097-7.
АннотацияВ пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей.<br>Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе "Лучевые процессы нанотехнологии".
Загружено 2020-04-29 18:50:47